【プレスリリース概要】
渦電流方式による薄膜表面抵抗測定

【プレスリリース内容】
インラインで蒸着管理を実現
　渦電流方式による薄膜表面抵抗測定

　　株式会社SantWorks（横浜市中区、045-228-8654）は、渦電流方式表面抵抗測定装置
「SW-FXシリーズ」を発売した。
タッチパネルや太陽電池などに用いられるITO膜やナ
ノ金属薄膜、リチウムイオン電池などの導電性多層
フィルム、その他各種金属薄膜の蒸着工程において、
インラインで表面抵抗を測定することによる蒸着管理
システムにおける用途を見込む。
導電性フィルムの表面抵抗を非接触で測定できる為、
非破壊での測定となり、抜き取り検査だけではなく 全数検査も可能となる。また、既存の蒸着装置にも
設置が可能。
従来の光学式や水晶式、４端子式では設置条件に制
限がある、交換品などのメンテナスや調整が必要で
ある、また多層フィルムでは測定困難であるなどと
いった問題があった。
「SW-FXシリーズ」はこれらの問題を解決し、フィル
ム製膜の品質向上が期待される。
価格は基本構成が５００万円から。初年度３０台の
販売を目指す。

【プレスリリース連絡先】
株式会社SantWorks
製品開発部
045-228-8654
info@santworks.co.jp