【プレスリリース概要】
UMCでは、正確で信頼性のある再生水の監視のためにメトラー・トレドTHORNTONのマルチパラメータ変換器とセンサを活用しています。これにより、UMCのエンジニアによる水質の検査と監視の頻度が削減されました。

【プレスリリース内容】
UMC はIC産業の主要分野を網羅するあらゆるアプリケーション向けに高性能システムオンチップ (SoC) を製造するグローバルな半導体製造企業です。

超純水は、高品質で高精度なウエハのクリーニング、洗浄、製造において欠かすことのできない重要な要素ですが、製造にコストがかかる上、使用後の処理にも費用がかかるため、UMC では可能な限り製造用水を再利用しています。

水質管理
UMC は、水質の分析や管理にメトラー・トレドTHORNTONのpHと導電率測定システムを使用しています。半導体工場では、逆浸透 (RO) 膜に影響を与える可能性のある膜への付着物質や漏出の危険性を回避し、製造工程で使われる逆浸透/脱イオン (RO/DI) 水の品質を維持するため、供給水の水質を測定する必要があります。THORNTONのセンサは、給水用再生水が品質条件を満たすよう、特定のUMC水再生システムを管理しています。

より正確で信頼性のある変換器
以前、UMC は1990年代の工場建設初期に設置された他社製計測器のバックアップ機器としてTHORNTON 200CR測定システムを使用していました。他社システムの逆浸透 (RO) 計測器は、非現実的な値を計測して不要な警告を発するなど一貫性がなくなり、その後まもなく、UMC のエンジニアは彼らが必要とする正確で確実な測定値を提供する 200CR 変換器に信頼を寄せるようになりました。しかし、変換器の交換は重要な制御盤からこれらの機器を分離しなければならず、最善の解決策ではありませんでした。

近年、UMCは新しいTHORNTON M300 測定システムを知り、既存の制御盤で使用していた変換器の代わりに、THORNTON M300 1/4 DIN 変換器を新たに導入しました。変換器とセンサを既存のものと簡単に取り換えることができるという便利さに加え、測定値の精度と信頼性が向上し、水処理装置の検証チェック回数が少なくてすむという他の利点もありました。THORNTONのソリューションにより、これまでの誤った計測値や警報に対応する必要がなくなり、現場のエンジニアの労働負担が軽減しました。

優れた汎用性
UMCはTHORNTON M300 マルチパラメータ システムを活用しています。汎用性の高いM300 は、給水システムから超純水の配水まで、THORNTON製品がインライン測定の重要な分析情報源となることを証明しています。マルチチャンネル変換器と各種パラメータの組み合わせにより、UMC では pH や導電率などのパラメータを 1 台の変換器で測定することが可能となりました。また、溶存酸素やオゾンのようなその他のパラメータについても、DI システムのメークアップポイントやユーズポイントにおいて 1 台の変換器で測定することが可能です。UMC はプロセスを M300 マルチパラメータ製品で統一することで、給水から超純水、再利用/再取得までをオンラインで測定および管理することが可能となり、汎用性の高い変換器システムの利点を生かしています。

【プレスリリース連絡先】
詳細情報については以下をご覧ください。
www.mt.com/M300
www.mt.com/THORNTON